Электрохимическое формирование упорядоченных структур оксида алюминия для электронной промышленности

Abstract

Представлены результаты формирования упорядоченных структур оксида алюминия электрохимическим методом в растворе щавелевой кислоты, содержащей ионогенные анизотропные поверхностно-активные вещества. С помощью растровой электронной микроскопии исследована структура и морфология поверхности пленок анодированного оксида алюминия. Установлено, что добавление поверхностно-активных веществ в электролит анодирования приводит к изменению структуры пленок. Таким образом, варьируя составами растворов и условиями анодирования, можно изменять соотношения размеров пор алюминиевых пленок.

The results of formation of ordered structures of aluminum oxide by an electrochemical method in oxalic acid solution containing ionogenic non-isotropic surface-active substances are presented. The structure and morphology of surface films of the anodized aluminum oxide have been investigated by the method of scanning electron microscopy. It has been established that the addition of surfactants to the anodizing electrolyte leads to the change of the film structure. Thus, by varying compositions of solutions and conditions of anodizing, it is possible to change ratios of pore sizes of aluminum films.